两项“重大科学仪器设备开发”重点专项申报

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近日,上海计量院机械制造所成功申报国家重点研发计划专项两项。  “硅基MEMS高深宽比三维结构的干涉显微无损测量技术”是国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项,项目由南京理工大学牵头申报,上海计量院与浙江大学、中国电子科技集团公司第十三研究所作为主要课题负责单位参与申报,上海计量院负责课题三“测量系统的量值溯源、校准与误差补偿”。项目将研制硅基MEMS高深宽比结构的智能化快速无损测量系统,通过专用工艺线接口,实现在超净环境下3种工艺线上的验证测量。  “跨尺度微纳米三坐标测量基础理论与技术”是国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项,项目由合肥工业大学牵头申报,上海计量院与哈尔滨工业大学、304所、中科院微电子所、中国计量大学作为主要课题负责单位参与申报,上海计量院负责课题三“非接触纳米定位技术”。项目将研究三维纳米位移和定位的测量理论与技术,研制高分辨力三维组合纳米测头、微纳米三坐标测量机样机,在精密微型零件加工和微纳制造领域进行试验验证。  国家重点研发计划事关产业核心竞争力、整体自主创新能力和国家安全的重大科学技术问题,旨在突破国民经济和社会发展主要领域的技术瓶颈。上海计量院此次的成功申报,无论在项目的质量和数量上,还是在研究内容、经费规模及合作上都有创新和突破。上海计量院将打破原有思维模式,积极探索跨行业、跨单位、跨部门的科技项目合作模式,联合国内著名高校、科研院所和龙头企业协同创新,全力以赴建设与上海张江综合性国家科学中心相适应的质量技术基础平台。

中国化工仪器网
行业动态
】2018年度科技部“重大科学仪器设备开发”重点专项已经启动,上海市计量测试技术研究院机械制造所作为重要课题承担单位积极参与申报两项重大科学仪器开发专项,分别是“微纳结构动态特性测试仪的开发和应用”和“高精度三维螺纹综合测量仪的开发和应用”。
“微纳结构动态特性测试仪的开发和应用”项目主要针对微纳结构与微机电系统器件动态特性测试的需求,突破高信噪比时空调制和自动调焦等关键技术,开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的微纳结构动态特性测试仪,开发相关软件和数据库,实现微纳结构与MEMS器件的振动频率、模式模态等特性测量分析以及典型缺陷识别。上海市计量测试技术研究院承担该项目中的“微纳结构动态特性测试仪性能评测方法研究”课题,将重点研究微纳结构标准振动模态激励方法,搭建校准系统平台,实现对激光测量系统关键参数的评价,并开展试验验证和关键参数的不确定度评定。
“高精度三维螺纹综合测量仪的开发和应用”专项重点针对先进制造领域螺纹几何参数的综合性检测需求,突破内外螺纹三维扫描高精度测头和三维参数重构关键技术,开发具有自主知识产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的高精度三维螺纹综合测量仪,开发相关软件和数据库,实现螺纹全参数的三维自动扫描检测。上海市计量测试技术研究院承担该项目中的“高精度三维螺纹综合测量仪在普通螺纹领域的应用开发”的课题,将重点探索和检验仪器在普通螺纹领域中的应用,建立仪器应用于普通螺纹领域的应用方案,编写数字化螺纹数据库等。
科学仪器设备是科学研究和技术创新的基石,是经济社会发展和国防安全的重要保障。我院依托2014年度重大科学仪器开发专项“跨尺度微纳米测量仪的开发和应用”的成功经验,积极组织科研团队承担重要课题任务,为提升我国科学仪器设备的自主创新能力,促进产业升级发展,支撑创新驱动发展战略的实施做出积极的贡献。
编辑点评
上海市计量测试技术研究院机械制造所作为重要课题承担单位积极参与申报两项重大科学仪器开发专项,彰显出上海计量院在计量行业的重要角色,同时体现了上海计量院在该领域领先的技术实力和领导地位。
(原标题:我院积极参与两项“重大科学仪器设备开发”重点专项申报)

学术报告:MEMS technology, manufacturing and sensors

时间:2019年4月25日 星期四 上午10:00-11:00

地点:信息学院N5楼215

会议邀请人:陶继方 教授 / 陈杰智 教授

报告摘要:

MEMS技术一个显著的特点是工艺具有高度的选择性,基于工艺的选择性,已经发展出一系列MEMS制造技术,使得MEMS传感器的性价比大幅度提高,在手机、汽车、医疗和消费领域得到广泛应用。同样,基于MEMS的工艺选择性,也可以发展出纳米制造技术。我们将介绍基于MEMS的微纳制造新方法,回顾作者利用建立的制造方法研制的超高灵敏微纳传感器及其应用。

图片 1报告人简介

李铁,博士,博士导师,中国科学院上海微系统与信息技术研究所特聘研究员,微系统技术国家重点实验室副主任,军委科技委主题专家,上海市优秀学术带头人。1992、1997年在中国科学技术大学分获学士、博士学位。目前研究领域为微纳传感器机理、器件及应用基础研究。承担国家重点研发计划课题、国家973、国防973、863、国家重大科技专项课题、国家创新研究群体科学基金、国家自然科学基金、中科院项目等国家省部级项目30余项。现任上海市传感技术学会副理事长、中国仪器仪表学会微纳器件与系统技术分会理事、中国电子学会敏感技术分会气湿敏传感技术专业委员会委员、MARSS、APCOT国际会议督导委员会委员、IEEE
MEMS、DTIP国际会议TPC成员等职。在硅纳米线制造及器件、纳米效应表征、红外热电堆及红外气体模块应用等方面开展了系统研究工作。已在Nano
Letters、Small、Carbon、IEEE EDL、IEEE
MEMS等刊物上发表论文170余篇,被包括Nano Letters、ACS Nano、Advanced
Functional
Materials、Small等杂志上的SCI-E论文他引600余次,获美国专利1项,中国发明专利50项。获国家技术发明二等奖、上海市技术发明二等奖、上海市科技进步二等奖、美国汽车电子学会Arch
T. Colwell Merit
奖。被评为“中科院优秀研究生导师”,指导的博士生获得“中国科学院院长特别奖”和中科院百篇优秀博士论文。

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